薄膜電容檢測器的檢測氣室內充填有待測組分氣體。選擇性好的儀表一般是分析什么氣體，則檢測室中就充填什么氣體。但有的時候，儀表要分析腐蝕性強的氣體，考慮到材料的原因，檢測器氣室中就不可能充填這種帶強腐蝕性的氣體，只能選擇一種與待測組分特征吸收波長相近的氣體，這樣，儀表的選擇性就會差一點。充填氣體的濃度則要根據具體情況來定，對于吸收紅外線能力很強的CO2、CO等氣體，充填氣只要含10%-18%的CO2、CO就可以了，其余的氣體則是Ar或N2，最好充填Ar，因為Ar的熱容量小，升高到相同溫度，Ar所需要的的熱量少。不能充純氣體，因為純氣體的濃度太高時，輻射來的紅外線在靠近窗口處會被吸收掉，不能再深入到檢測器氣室的深處，這樣部分熱量就在窗口附近傳出損失掉，這就會影響儀表的靈敏度。充填氣體中待測組分濃度的大小，應以使紅外線輻射到達檢測器氣室底部時剛好被吸收掉，這樣最為理想。檢測器氣室中充填待測組分濃度的大小，還得根據檢測器氣室的大小以及被測氣體的情況，一般都是由實驗來確定。為了確保薄膜電容器的選擇性充填氣體中的雜質越少越好。